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徐元森1926年生于浙江省江山市。中国科学院上海微系统与信息技术研究所(SIMIT)研究员。1950年浙江大学化学工程系毕业。同年进入中国科学院上海冶金研究所(SIMIT前身)工作。历任助理研究员、副研究员、研究员、室主任。兼任中国科学院研究生院和华东师范大学教授。曾任上海集成电路行业协会副理事长。 1他在20世纪50年代从事钢铁冶金研究,先后在球墨铸铁及包头和攀枝花两大复杂铁矿的高温冶金物理化学问题中做出重要贡献。 铸铁中含3.5%以上的石墨,约占体积的15%,呈细叶状均匀分布在铁基体之中,这使得铸铁断口呈灰色,故被称为灰口铁。铸铁坚韧不如钢,性脆,但价廉,是机械工业的主要金属材料之一。1948年英人在铁中加入少量稀土金属,使石墨由细叶状变成球粒状,称球墨铸铁,它强度近似铸钢,有韧性。后人又用镍镁合金加入铸铁,得到相似结果。但该两种方法不符合我国国情。那时既无稀土又缺少镍,进口很贵,难以大量生产。 若能在铁水中加入纯镁,可以不用镍,但这是一个非常危险的操作,镁光闪闪,铁水喷溅。初期他和同事开发成铜镁合金,加入铁水时反应缓和,只要稍加安全措施即可生产。后来又成功而巧妙地将纯镁加入铁水,既安全又节省铜。 在仔细研究了球墨铸铁制造工艺和镁、铜、锰、硫、磷等元素的影响后,写成一本专著,发行全国,深得机械、造船、兵工、铁路诸行业的欢迎,进而在全国推广生产。众人称赞球墨铸铁起到了“以铁代钢、以铸代锻”的作用,为国民经济的发展做出了贡献。因此获得国家科学奖(1956年)。 2我国铁矿资源不丰富,而且许多矿成分复杂。包头铁矿特别复杂,含有CaF2和稀土等十几种元素,是世界上所罕有。建国初期亟待开发,以建立包钢。CaF2进入高炉将引发许多麻烦:进入炉渣,会严重侵蚀炉衬;挥发进入煤气,会腐蚀高炉钢铁结构,影响煤气燃烧;尤其是进入废水和大气,将污染环境,破坏生态,毒害草原牛羊,问题一大堆。他和同事们先研究了含氟炉渣的高温物理化学性质,如熔化点、黏度、对炉衬的侵蚀和对生铁成分的影响等。后来又特地造了一个1立方米的实验高炉,包括煤气的除尘、洗涤、废水处理等附属设备。可以模拟大型高炉的冶炼全过程。他发明了一套可以从炉内不同平面测量温度、采取样品的装置,可以同时测定煤气中CO、CO2、HF、SiF4以及炉尘成分。结合多次冶炼中所得到的各种数据,如炉料配比、炉渣、生铁、炉尘、煤气、废水的各种成分,依据物理化学分析,获得了氟在高炉内变化规律,掌握了提高生铁质量的冶炼方法,减少氟挥发的措施。1955年写成报告送国务院,主要结论是:①包头矿冶炼时的含氟煤气,经水洗和电除尘后,不影响它的燃烧,对大气的污染不严重,废水经处理后也不会对环境、草原和人畜造成危害。②高氟炉渣脱硫力差,应增加石灰石以提高CaO/SiO2比,既可降低生铁中的硫含量,又可吸收煤气中HF生成CaF2。③应采用碳砖炉衬,以免炉衬受侵蚀。④CaF2对炉况顺行有利,可提高铁的产量。 这些结论均被设计公司所采用,包钢高炉也已顺利生产了数十年。1981年我国冶金专家在评论该项科研成果时认为,这在当时世界上是“独一无二的开拓性工作,也是出类拔萃的”。于1984年获得国家自然科学奖三等奖。后来的含氟炉渣和HF—H2O的高温平衡研究也获得国家自然科学奖二等奖。 3我国西南攀枝花钛磁铁矿是一个储量很大,成分也极为复杂的资源。国家计划利用该矿建设攀钢。矿石中含有晶粒极细的钛磁晶石(2FeO.TiO2),很难用选矿办法合理分离TiO2和Fe。若原矿入炉,炉渣中TiO2可达20%~30%,这种高钛渣很容易变稠,进而失去流动性而堵塞炉缸。前人屡试屡败,成为世界炼铁史上一大难题。小量利用时,必须加入大量废砖将TiO2%压低至12%才能连续生产。而攀钢不可能走这样的技术路线。 1958年他领导小组人员先从高钛熔渣由稀变稠的机理入手,例如改变各种炉渣成分和通入各种气体,并测定它们熔化温度、黏度,证明高TiO2渣在高温还原性条件下,很容易变稠而不流动。添加MnO、CaF2,可适当降低熔渣黏度,但不能阻止它们变稠。变稠的钛渣中含有Ti2O3、TiO、TiC等低价钛化合物。实验高炉冶炼该矿时,高钛熔渣、铁水和焦炭搅成一池浆糊,将炉缸堵得死死的。若在几千立方米的大高炉出现这样温度达1400℃的大浆糊将是一场大灾难,因为冷却后它像花岗岩一样硬。用炸药才能清除掉。 有一次炉缸被堵塞,出渣出铁间隔被迫延长,渣流和铁流就像火山爆发的一样,奔泻而出,蔚为壮观。并且屡试不爽。后来我们改造了实验高炉,增加新的冶炼装置。从此渣铁畅流,又经过改进冶炼制度,提高渣中CaO/SiO2比,生铁的质量和钒的回收率均明显提高。冶金部收到我们的报告后进行大试验。以及后来的试验和攀钢的生产都采用了这些措施,均能顺利出铁。1981年钢铁界权威人士一致认为该成果“为攀矿高炉成功出铁提供了理论依据,为以后的研究和生产奠定了基础”。冶金所是1977年国家发明奖一等奖获得者成员单位之一,并在1982年获得了国家自然科学奖四等奖。 420世纪60年代初,他领导了B、Ga、In、P、As、Sb、Bi等元素的提纯研究,和GaAs单晶、Ge片状单晶、Ge均质单晶及硅外延单晶等的生长研究,获得了一批很好的成果,为我国半导体材料的生产作出了开拓性贡献,获得郭沫若院长颁发的“先进研究室”奖状。 51965年他领导上海集成电路攻关小组,组织许多单位从原材料、制版光刻、金属化到封装测试设备的大协作。他又在电路设计、制版光刻、扩散工艺等深入探索,不到一年便试制成功两种集成电路,批量投产,装备了我国第一台高速计算机。 1977~1995年他又再次领导全室开发大规模高速集成电路,从净化室的建立;TTL、ECL、NMOS、CMOS、GaAs等工艺流程的完善;及特制的数十台工艺设备都仔细筹划,严格实施。十余年来研制成功大、中规模集成电路100余种,包括RAM、EPROM、CPU、门阵列以及多种定制电路。许多均由工厂生产,获得很好的经济效益。于1985年获国家科技进步奖一等奖,他1979年获全国劳动模范称号,1995年当选中国工程院院士。现在他仍旧在科研第一线开展新的工作和培养研究生。
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