李志坚，半导体物理学家，微电子技术专家，1928年5月出生于浙江省宁波市柴桥镇。1951年浙江大学物理系毕业，1952年上海同济大学物理系任助教，1953年冬赴苏联列宁格勒大学(今俄罗斯彼得堡大学)物理系留学，从师A．A．列别杰夫院士当研究生，1958年初毕业，获物理一数学科学哥惰士学位后回国，至今一直在清华大学任教和做研究工作。先后在无线电系(今电子科学技术系)和微电子所任讲师、副教授、教授、博士生导师。他是清华大学半导体专业和微电子研究、开发的开拓者之一。曾担任清华半导体教研室主任、微电子所所长，清华大学学术委员会副主任，现任清华大学信息学院及微电子所学术委员会主任。他兼任的社会职务有：国务院学位委员会学科评议组成员，中国电子学会副理事长，半导体学会副会长，半导体学报编委会副主任，电子学报编委等。他先后被选为全国(1979)和北京市(1980)劳动模范。1991年入选为中国科学院院士。
        李志坚出身商人家庭，自幼用功好学，热爱自然科学，中、小学期间学习成绩一直名列前茅。在浙大学习期间幸得王淦昌、束星此、程开甲、胡济民等，尤其是何增禄教授的教导。作为他的毕业论文指导教师，何老师直接引导他进入物理学实验研究领域。浙大的民主、求是氛围培养了他热爱祖国和求实、奋进的精神。他的研究生导师列别杰夫院士在苏联有很高的学术声望，学风十分严谨，对李志坚要求十分严格。在苏学习期间，李志坚系统地补充了自己的基础理论知识，提高了进行现代实验的技能。在大量实验的基础上他提出了半导体薄膜电导和光电导的电子势垒理论，在全苏电子科学学术会议上作了学术报告，并在首期《固体物理》杂志上发表了两篇论文，受到苏联学界的好评。薄膜电子势垒理论迄今仍在指导相关的研究工作。
        1958年进入清华大学后，他投入了新专业的筹建，带领一批青年教师在很短时间内建立起国8m84第一个半导体专业和实验室，在当时国际半导体工业仍以锗器件为主导的情况下，他们毅然决定以硅技术作为研究室的主要发展方向。在他的领导下，他们在国内首先研制出超纯硅多晶，继而拉制单晶，研制成晶体管，并于1962—1963年掌握了硅平面工艺，研制出高反压硅平面晶体管(反压大于160V)，从而使他们仅迟后美国不到3年便开始硅集成电路的研究。在当时国家受到严密国际封锁下，这很不容易。
        “文化大革命”期间，清华大学无线电系迁四川绵阳，建立分校，半导体专业一分为二，部分留京，大部分去四川。李志坚首批迁绵阳建设分校，70年代初因病回京参加留京的“半导体车间”的MOS电路研究工作，曾从事离子注入，SRAM IC版图设计及电路设计等。拨乱反正后绵阳分校迁回北京，清华半导体两部分人会师，李志坚恢复了专业学术领导职务。在同志们的支持下，集中力量攻MOS大规模集成电路，为此从工艺线建设、器件物理、电路设计等开展了一系列工作，取得了明显的成绩，使清华大学半导体研究室成为国家重要的大规模和超大规模集成技术和电路研究、开发单位之一。他们在20世纪70年代研究成功的lK硅栅静态存储器芯片是当时国内典型的先进大规模MOS电路产品。
        继而于1980年清华大学建成了3微米MOS超净工艺线，同时成立了微电子学研究所，李志坚先后担任副所长、所长。在国家“六五”、“七五”计划期间，他们领先研究成功了3微米M0s成套工艺和相应的16K静态MOS存储器，8位、16位微处理器等一批大规模集成电路，获得了国家教委和电子部一等奖，国家科技进步二等奖。在“八五”攻关中他们又自力更生地在国内建立起了第一条1微米级超净CMOS线，独立自主地开发出1～1．5微米成套CMOS工艺和1兆位汉字只读存储器芯片，使我国集成电路技术首次进入超大规模集成。这使他又一次获得电子部一等奖和国家科技进步二等奖。这些成果基本上代表了我国微电子芯片技术的当时先进水平。
        李志坚在从事大量的开发性研究的同时，十分重视微电子学的基础性与前展性的研究，并以此类课题培养研究生。早在20世纪70年代后期，他已看到随着集成电路加工特征线宽进入亚微米阶段，工艺中高温长时期恒温处理技术日益受到挑战，瞬态高温热处理的发展是必然趋势，于是就派本所钱佩信前去德国进修离子注入后瞬态退火技术。钱回国后提出传统激光退火在生产中并不合适的问题，他们共同探讨了用射频石墨加热，红外退火的可行性，并决定开展相关工作，由钱在技术上总体负责，李志坚负责带领研究生进行相关物理机理的研究。这一工作导致了“半导体高温快速热处理技术和设备”研究的成功，他们因此获得中美五项专利和国家发明二等奖。MOS界面物理是李志坚基础性研究的另一个方向，他们提出的界面态测试的瞬态谱技术曾在中美Palo Alt0双边表面物理研讨会上提出报告，受到学界好评。他与青年教师一起在20世纪70年代研究成功的2K：EEPROM曾得国家教委科技进步奖。这一新技术还导致20世纪90年代初清华大学在国内首次研究成功“中华第一卡”——中国第一张IC卡。
        早在20世纪80年代末90年代初，李志坚即提出开展微电子系统集成技术的研究，得到国家自然科学基金委重大项目立项的支持。十余年来，李志坚和其研究组已在系统芯片集成(SOC)和微机械电子系统(MEMS)等方面做出了一项项居国际先进水平的工作，获得了一批美国专利，其中包括：模糊逻辑芯片，神经元网络芯片，集成微传感器技术，微马达，微麦克风等。李志坚是公认的在中国开展SOC和MEMS的先驱者。他是1997年度陈嘉庚信息科学奖得主。
        作为清华大学杰出教授，我国首批微电子专业博士生导师，李志坚已培养出一大批这一领域的专门人才，他们已成为我国这一专业的骨干，有的成为科学专家，他们在国内外都做出了出色的成绩，使他和IMETU负有很好的声誉。李志坚有编著4部，发表学术论文200多篇。从事科教工作近50载的李志坚教授仍在孜孜不倦和锲而不舍地为我国微电子专业人才培养和半导体事业发展而进行无私奉献。